二手 NORDSON VIA-LVO #9217334 待售

NORDSON VIA-LVO是一种全自动蚀刻器/asher设备,旨在简化实验室中的精密蚀刻和灰化过程。这种通用系统的设计允许用户在各种应用程序中以精细的分辨率和受控的深度蚀刻样品。该单元是蚀刻铝、钛、的样品以及其他金属和电介质的理想选择。VIA-LVO是一种计算机控制、多腔、多刀具的机器，可同时处理多达四个蚀刻样品。该工具包括一个外部计算机资产，以提供用于操作的图形界面。它还包括两个用于运动控制的光学台式系统，两个用于气溶胶控制的过滤系统，以及一个用于大气压力控制的压力表模型。NORDSON VIA-LVO设备能够在深度上蚀刻200 um,最小特征尺寸为1微米。根据金属类型的不同，它能够以高达20微米/分钟的通量蚀刻金属和介电样品。该系统可用于多种蚀刻类型，包括金属各向异性和各向异性蚀刻，以及化学和等离子体蚀刻。VIA-LVO单元的设计方便了设置和操作。它配备了一台装卸机，用于自动装卸样品到蚀刻室。该工具还具有可调的工艺参数和气体压力，以定制蚀刻工艺，以适应特定应用程序的特定需求。还包括一个独立的除雾器，它从蚀刻室中去除不需要的颗粒。NORDSON VIA-LVO可以配置各种蚀刻工具，如ICP、TAB、CVD和RIE，这取决于要蚀刻的材料。该资产还提供了多种安全功能，如自动气体关闭模型、紧急安全关闭阀和差动压力表，以保护设备免受潜在的爆炸。VIA-LVO 蚀刻器/asher是各种材料精密蚀刻和灰化的绝佳选择。它提供了简单的设置操作，出色的蚀刻质量和准确性，以及多种安全功能，以确保操作员的安全。NORDSON VIA-LVO具有广泛的功能,是金属、电介质和其他材料精密蚀刻和灰化的理想系统。