二手 NOVELLUS Aura 2000LL #293594774 待售
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ID: 293594774
Asher
Part No: 99-0339
Non-copper
Components:
Make / Model / Description / Part number
- / - / Load lock chamber / A01-218-01
GASONICS / 94-1175 / Indexer elevator / 04630-003
GASONICS / 94-1174 / Indexer elevator / 04630-004
GASONICS / 94-1118 / Load lock elevators / 04290-201
GASONICS / 94-1119 / Load lock elevators / 04290-101
DEXON / FFU / - / MS43E-1040
GASONICS / - / Loadlock rear panel display / A95-107-01
MKS INSTRUMENTS / Baratron / - / 622A11TDE
MKS INSTRUMENTS / 150 / Pressure controller / 152H-P0
MKS INSTRUMENTS / - / Valve / 253B-11020
NOVELLUS / - / Waveguide systems / 95-4477
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281703
(1) / OMRON / Sysmac C40H / PLC / C40H-060R-DE-V1
PCB:
Make / Model / Description / Part number
GASONICS / - / Plasma / A90-031-03
GASONICS / - / Controller board / 90-2658
GASONICS / - / Display decoder / 90-2609
GASONICS / - / Loadlock interface BD / 90-2608
HINE DESIGN / - / ARM Controller board / 02423-001 / 06764-001
NOVELLUS / A2000 / Interlock BD / 90-2735
Wafer handling robot / arm unit missing
CE Marked.
NOVELLUS Aura 2000LL是一种用于半导体织物的最先进的蚀刻/asher解决方桉。Aura 2000LL采用耐用的材料和先进的技术制造而成，对各种粒度的基材进行快速、精确的加工。其加工室内径为500 mm，可容纳大基板，其优化的蚀刻/灰化空间均匀性有助于确保优异的工艺效果。NOVELLUS光环的封闭式机器设计2000LL通过多个蚀刻源、排出颗粒和通风系统有效地发挥作用。与传统蚀刻配置相比,它还具有低成本维护功能,因为它具有自上而下的灰度处理功能。此外,该工具还提供了可编程的多区域基板控制,从而最大程度地提高了工艺灵活性。具体来说，该机配备了三个蚀刻光源，一个VHF光源、一个微波源和一个宽光束光源。VHF源是最常用的，可以提供多区能力，可以蚀刻小或大的基板，而不需要减小腔室直径。这种蚀刻源的多功能性使Aura 2000LL能够精确地处理各种材料和蚀刻深度。而且，它的高频、大功率操作有助于保持高工艺均匀性，使其适合应用于大批量产品移动。同样，NOVELLUS AURA 2000LL上的微波源提供了一种多模式蚀刻方法，具有较高的处理速率和高质量的结果。然而，宽束光源被用于借助高能电子束快速处理底物。这种光束能够诱导不希望的充电，最终需要中和并安装阳极板。最后，Aura 2000LL以其可靠的CIP（清洁到位）操作与其他化学蚀刻溶液区分开来。这种化学综合清洗工艺有助于清除和防止污染物的形成，确保蚀刻室充满尽可能清洁的环境。NOVELLUS Aura 2000LL的这种创新自我维护有助于提高其可重复性和可重复性,以实现高级工艺能力。作为屡获殊荣的NOVELLUS系列产品的一部分,Aura 2000LL与其他蚀刻系统脱颖而出,可灵活地容纳各种基材尺寸和高品质的蚀刻深度。它优化了蚀刻/灰化和高速操作的空间均匀性，非常适合半导体织物中要求很高的应用。
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