二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9083213 待售

NOVELLUS Gamma 2100是一款针对多种精密蚀刻应用而设计的蚀刻器/asher设备。适用于需要高分辨率成像、均匀蚀刻和严格控制蚀刻速率的应用。该系统允许加工多种材料，包括金属、电介质和复合半导体。伽玛2100利用低压晶片传输单元在晶片表面上保持精确且可重复的模式。该机还配备了精确、可重复的步进电机，控制晶圆定位和扫描，具有对齐和沉积图样薄膜层的能力。NOVELLUS Gamma 2100旨在处理直径达300毫米的晶片，并利用2倍还原成像透镜和法拉第笼板最大限度地提高成像性能。该工具使用了广泛的气体，能够应用多个工艺步骤，包括掩蔽、蚀刻、灰化和剥离。伽玛2100提供精确的蚀刻控制，具有更高的选择性、更低的应力和更好的蚀刻控制深度。NOVELLUS Gamma 2100在蚀刻过程中还采用了专利的向上朝上的石英窗asher来保护晶圆。Asher提供小特征的均匀蚀刻以及晶圆上非常大的特征。它还使用平铺工艺以更高效的方式蚀刻晶圆。Gamma 2100的设计充分利用了NOVELLUS系列高性能蚀刻和灰化化学的优异性能。NOVELLUS Gamma 2100是高性能微电子设备中关键组件的首选资产。它具有加工的可靠性和一致性，同时为顶层薄膜层沉积提供卓越的蚀刻和灰化性能。该模型还旨在为需要高度自动化的各种光刻工艺带来卓越的均匀性。