二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9225554 待售

NOVELLUS Gamma 2100是一款专为半导体制造中薄膜沉积而设计的高精度蚀刻器/asher。用于薄、钝化、清洁基板，为各种电气和光学设备制造多层涂层。该机器采用多头蚀刻器/灰化器,精确度更高,可执行所需的处理。Gamma 2100采用开放式框架设计,可提高工作区域的能见度并便于维护。蚀刻器/asher具有先进的高能等离子体源，平均功率高达200 W，最大功率为1000 W。它利用离子与基材发生化学反应，生成薄膜。蚀刻速率范围从0.2 nm/秒到6 nm/秒不等,具体取决于被蚀刻材料的组成。NOVELLUS Gamma 2100也有一个被称为离子源控制的独特功能。该特性优化蚀刻条件，提高基板均匀性。它允许用户调整离子束的强度和焦点，以确保最佳蚀刻结果。机器还具有一个可选的预清洁功能,通过在蚀刻过程开始之前移除任何现有薄膜来准备基板。伽玛2100在提供可靠和可重复的薄膜沉积结果方面迅速获得了应有的声誉。适用于广泛的应用，如制造光电二极管、电容器、晶体管、场效应晶体管等。该机器适用于工业应用以及学术研究和原型设计项目。这是向高端部件生产迈出的高效、经济高效的一步。