二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9228361 待售

NOVELLUS Gamma 2100是NOVELLUS Systems针对IC封装应用开发的蚀刻器/asher。它是一种采用感应耦合等离子体（ICP）蚀刻和化学气相沉积（CVD）工艺的多过程单室蚀刻器/灰化器。伽玛2100可以蚀刻铜（Cu）或铝（Al）金属化层和复合通过填充层，用于高长宽比封装。NOVELLUS Gamma 2100能够蚀刻铝、钛、镍、金、银、合金、以及薄膜金属化结构的Cu基材料等材料。还可以针对一系列工艺参数进行编程,如基板温度、射频频率、射频功率和蚀刻流速,从而优化蚀刻速率和特征轮廓质量。此外,在单个腔室中蚀刻多层结构的能力可以加快吞吐量。Gamma 2100 蚀刻器/asher配备了包括两个独立模块的工艺室。第一个模块使用ICP工艺蚀刻材料层。这个过程创造了一个高温、高密度的等离子体源，利用低温ICP源的冷等离子体技术蚀刻材料。第二个模块用于使用硅基化学沉积化学气相沉积（CVD）层。该模块还包括一个独立的冷晶片支架，以促进CVD层的共平面化。NOVELLUS Gamma 2100还有一个热区，可以针对特定的应用程序流程量身定制。热区可以维持各种基材温度，以保持蚀刻过程稳定，同时确保晶圆在蚀刻过程中保持平坦。热区的温度可在200°C至500°C之间调节。此外，蚀刻器/粉碎器采用快速负载锁定系统，将加工室与环境完全隔离，并清除腐蚀性和危险材料，以便安全处置废物。此外，Gamma 2100最多可支持五种不同的蚀刻化学方法来蚀刻各种薄膜结构。NOVELLUS Gamma 2100 蚀刻器/asher是一个用户友好的系统,允许操作员快速更改程序和组件以跟上不断变化的产品需求。它是一种可靠且高度精确的蚀刻工具,具有很高的生产率,能够满足最苛刻的包装要求。