二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9236709 待售

NOVELLUS Gamma 2100是由NOVELLUS Systems Inc设计制造的蚀刻/asher设备。这个先进的蚀刻和asher系统能够处理半导体工业中的多种底物，包括多晶硅、金属和绝缘体。它采用NOVELLUS专利底物温度控制（STC）技术,能够精确控制工艺温度,以便精确蚀刻和去除氧化物。该设备还具有测量晶片内性能和跨晶片工艺性能的成像功能,每一层都是根据客户规格创建的。该蚀刻器还具有先进的纳米级沉积能力，具有高精度的光束脉片技术，可实现薄膜层的精密沉积。Gamma 2100包括复杂的流程控制和自动化,允许自动编程各种流程和配方。其高速、高精度的扫描板精确地在基板表面移动，允许扫描长度高达40微米每步。该机还包括一个高精度的X-Y扫描级，以及一个双通道静电卡盘，用于直径可达150 mm的基板。NOVELLUS Gamma 2100利用其高分辨率数据收集,能够分析低至0.004微米的蚀刻特征。它还提供高分辨率成像能力来测量晶片内性能和跨晶片性能。此外,由于其板载图像处理功能,它能够实时检测和识别非常小的特征,而无需任何手动优化。Gamma 2100由于其自动校准阶段，也提供了高度的可重复性。它允许用户建立目标值并快速为每个晶圆建立一致的结果。该机还设有车载配方库和软件，使用户能够方便地维护仪器设置和处理配方。除了优越的工艺性能，NOVELLUS Gamma 2100还提供低成本的操作。其节能设计保证了更高的吞吐量和最低的气体消耗。这反过来又降低了业务成本，提高了总体效率。总体而言，Gamma 2100是一种先进的蚀刻器/asher工具，能够精确控制工艺温度和沉积纳米级薄膜层。它提供高精度成像来测量工艺性能,自动校准以确保可重复性,并且由于其节能设计而降低了运营成本。NOVELLUS Gamma 2100是一种可靠、用途广泛的资产，非常适合在半导体行业中加工多种基材。