二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293627326 待售
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ID: 293627326
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
PR Stripper, 12"
BROOKS TM V6 Fixload
KEYENCE Light curtain
YASKAWA Aligner
02-169208-00 EFEM Robot
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
UI Panel
RF Signal cable
Loadport
IU Panel
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
GXT type
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load/unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2003 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130是为高生产力应用而设计的蚀刻器/asher。该设备独特的工艺技术、设计和功能使其能够提供低成本、高性能的蚀刻和灰化操作。Gamma 2130是先进技术节点过程开发和经济高效、制造生产和维护的理想选择。NOVELLUS Gamma 2130以紧凑的占地面积打造，使其适合各种应用需求和吞吐量要求。该工艺室最多可处理八个晶片，完全控制配方参数，允许过程可重复性。炮塔装有一个石英淋浴头和一个电子束淋浴头，允许广泛的工艺选择。该系统由功能强大的流程控制器驱动，提供稳定的流程环境，并具有直观的图形用户界面。伽玛2130配备了先进的多脉冲发电机。该发电机自动调整和补偿过程室内的热负荷，提供一致的过程窗口。发电机还具有先进的工艺控制功能，可自动保持最佳蚀刻和灰化条件。高级工艺控制器还有助于确保过程参数稳定,包括蚀刻和灰度时间、压力和温度。NOVELLUS Gamma 2130与广泛的工艺化学方法兼容，能够使用单一或多晶圆骰子。此外，该单元的设计易于升级，增加了房间和其他各种选项。Gamma 2130还支持在线和离线监控所有流程功能。总体而言,NOVELLUS Gamma 2130为各种应用程序提供了高效、高性能的蚀刻和灰化解决方桉。该机器强大的过程控制和准确性使其成为开发和生产过程的理想选择。它还为生产具有高质量表面饰面的均匀零件提供了稳定性、重复性和可靠性。
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