二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293627328 待售
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ID: 293627328
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
PR Stripper, 12"
GXT Chamber
YASKAWA Aligner
KEYENCE Light curtain
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
BROOKS TM V6 Fixload
02-169208-00 EFEM Robot
UI Panel
IU Panel
RF Signal cable
Loadport
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
Express type: Bell jar and quartz tube upgraded
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load / Unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Stage: Preheat
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2004 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130是一款高精度的蚀刻器/asher，旨在满足半导体行业的需求。它是一种全自动蚀刻器/asher,提供全方位的工艺功能,能够生产各种晶圆尺寸的高性能设备。它配备了最先进的PECVD室，能够生产均匀优质的氮化物、氧硝化物和多晶硅薄膜沉积物。Gamma 2130还具有用于布局设计的高分辨率成像和图桉系统,以及用于精确蚀刻或灰化的精确掩蔽。NOVELLUS Gamma 2130能够以高吞吐速率沉积或蚀刻几层不同厚度和尺寸的层。其最大蚀刻速率为1000A/min，可实现50 mm晶圆以上均匀性的重复结果。该平台提供了无与伦比的对反应性物种浓度和底物温度的控制。此外，还可以配置一系列气体输送和过程控制系统，以支持各种沉积和蚀刻应用。伽玛2130采用最新技术建造，额定压力为1000mBar。它配备了高精度的端点监控系统，以确保对各种晶圆尺寸和材料的精确计量和过程控制。先进的成像系统和软件设置可以提高涂层和蚀刻工艺的产量和一致性。该系统还设计用于在高灰尘和沉积或蚀刻速率下的性能。NOVELLUS Gamma 2130由于其内置的安全机制和冗余的保护系统,提供了尽可能高的安全性和可靠性。它设计为可以长时间不间断运行,并且可以根据所需应用程序的需要轻松定制。Gamma 2130是一款健壮且先进的蚀刻器/asher,可为任何半导体工艺提供灵活、可靠且经济高效的解决方桉。
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