二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293773386 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一种用于半导体晶片等离子体加工的蚀刻器/asher。由于其独特的离子等离子体源和集成的Endura®蚀刻控制,该机器能够进行高级蚀刻和灰化工艺。这种设备允许快速和精确的晶片蚀刻，以便在晶片上创建小而复杂的特征。伽玛2130有一个等离子体源，能够产生高达5kW射频功率的高密度离子等离子体。这样可以实现可靠的原位蚀刻/ashing工艺控制和出色的蚀刻均匀性。集成的Endura®蚀刻控制系统优化了蚀刻过程,确保了蚀刻图桉的最大均匀性。NOVELLUS Gamma 2130专为方便灵活的晶圆传输而设计，可实现最小腔室冷却和快速循环时间。其创新的穿梭装填单元允许蚀刻室快速装卸，由于其自动门和位置传感器，停机时间最短。此外，该室还配备了可根据晶圆地形水平和垂直调整的多Tower™塔。伽玛2130是一个独立的，集成蚀刻/灰化机能够蚀刻高达200毫米晶圆。其腔室配有无栅格底部和优化的源分布，确保了出色的并行处理，从而产生了较高的生产率和小特征的蚀刻。此外,由于其直观的图形用户界面和嵌入式Endura®蚀刻控制工具,该计算机易于使用。因此，NOVELLUS Gamma 2130是MEMS、TSV、Through Silicon Vias等各种先进半导体工艺的理想蚀刻/灰化资产。Gamma 2130以其可靠的运行和较高的吞吐量，可用于大容量半导体制造的生产和开发。