二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293820192 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一种蚀刻和asher设备，在氧化物、氮化物、金属和多晶硅的工艺序列上运行。它利用各种蚀刻工艺，包括干蚀刻和湿蚀刻，以实现对工艺和物料去除的精确控制。该系统允许可重复生产高质量、高性能的设备,包括模拟、数字和溷合信号电子设备。伽玛2130利用先进的基板夹紧装置，确保加工晶圆和基板材料的高精度、可重复的配准。此功能可确保准确进行蚀刻和灰化过程,而不会损坏基材。NOVELLUS Gamma 2130还利用了额外的自动化设置功能和可重复性检查,以确保产生始终如一的高质量结果。机器的加工室使用高精度气体输送工具操作，设计用于氧化、氮化物和金属蚀刻，以及化学机械抛光（CMP）工艺。它还具有先进的可编程蚀刻控制器,能够精确控制过程,协助生产薄膜和高精度设备几何形状。除了这些特性之外，Gamma 2130还能够同时进行多次蚀刻，使得多个晶圆的快速处理成为可能。此功能有助于加快生产速度并减少停机时间。蚀刻资产还包括若干安全特征，如超温检测和泄漏检测，以保护设备和人员免受潜在危险情况的影响。NOVELLUS Gamma 2130是一款高级蚀刻器和asher模型,能够提供对操作的精确控制。它旨在实现薄膜和高精度设备的快速、可重复和可靠的生产。Gamma 2130具有多种蚀刻工艺、自动化设置功能和安全功能,为蚀刻和灰化应用程序提供了可靠的平台。