二手 NOVELLUS Gamma 2130 #9260075 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一款高级蚀刻/灰烬工具,可为各种蚀刻/灰烬应用程序提供卓越的工艺能力和可靠性。针对CMOS制造工艺的需要进行了优化,为大容量应用提供了卓越的特性控制、工艺一致性和周期时间。Gamma 2130具有先进的三梁设计,可提供均匀的四面墙轮廓,用于高长宽比处理。它采用独特的超高速干涉仪，保持精确的光束放置，以稳定蚀刻/灰烬性能。该工具还包括可调节的狭缝开口,用于在各种晶圆尺寸上进行工艺调整,以及用于可靠背面保护的先进干蚀刻工艺。NOVELLUS Gamma 2130具有高吞吐量体系结构,可实现长达24小时的无人值守操作。它利用全面的机器人处理与工厂中的其他机器进行无缝集成。内置传感器和反馈控制环路可确保持续的性能监控和稳定性验证。该系统还配备了先进的诊断技术。它具有增强的控制台显示屏,可实时监控流程参数和系统性能。此外，Gamma 2130为改进的配方和模型预测提供了不均匀的输入数据。NOVELLUS Gamma 2130是一款功能强大的蚀刻/灰烬工具,旨在满足最苛刻的CMOS制造工艺的需求。它提供了卓越的特性控制、更大的工艺一致性和更短的周期时间。该机先进的三梁设计和复杂的诊断技术使其成为各种蚀刻/灰烬应用的强大而可靠的工具。