二手 NOVELLUS Gamma 2130 #9282119 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一款高性能蚀刻器/asher，设计用于各种基材的蚀刻和灰化，包括金属、陶瓷、石英、玻璃。伽玛2130利用先进的电子束蒸发技术加上低温冷却技术，创造出分辨率、均匀性和可重复性都很好的蚀刻和灰分剖面。NOVELLUS Gamma 2130具有强大的计算机控制沉积设备,它可以在最小热漂移的情况下实现高速率沉积。集成的计算机系统允许自动编程和控制蚀刻和灰化过程,同时监控温度、功率和压力变化。伽马2130允许灵活配方控制具有高可重复性，使精确的剂量和均匀的组成跨底物低热漂移。NOVELLUS Gamma 2130设计为密封室，提供增强的安全性、过程重複性和精确度。它能够精确地控制蚀刻/灰分/沉积参数，每个工艺都能独立控制，以确保材料的不断输送。密封室还允许各种气体在各种压力下进入，以实现最佳工艺控制，并通过提高均匀性增强蚀刻/灰分轮廓。伽玛2130具有高负载能力和多区温度单元。这样可以在较大的蚀刻区域实现更好的均匀性和更好的热控制,并提高工艺的可重复性和准确性。由于材料沉积率较高，也显着缩短了工艺时间。NOVELLUS Gamma 2130提供卓越的性能和可重复性,并具有非常低的粒子生成,可实现最佳地形控制。它被设计成易于集成到生产线和自动化系统中，允许快速和一致的基板制备。其先进的控制机器提供了高效、高精度的蚀刻和灰化工艺，产生了优越的质量蚀刻和灰分效果。