二手 NOVELLUS Gamma 2130 #9377872 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一款在半导体器件制造中为晶圆级加工而开发的高温等离子体蚀刻器/asher。该设备的设计符合行业严格的工艺规范，具有卓越的蚀刻均匀性，具有无与伦比的可重复性和可重复性。伽玛2130提供了对蚀刻深度、长宽比和表面粗糙度的精确控制，使得高性能的装置结构如超浅结和闸门手指结构成为可能。它还提供了极好的等离子体均匀性和选择性，保证了每台设备的最高质量结构。该系统采用感应耦合等离子体（ICP）技术,具有专有的广束电子回旋共振（ECR）等离子体源,具有较高的蚀刻选择性和低至0.2 nm/min的蚀刻速率。其ICP电源提供了整个晶圆过程的出色均匀性。该单元包括一台艾默生ASC-1000控制机，以确保严格的过程控制，提高每个蚀刻过程的重复性和重复性。NOVELLUS Gamma 2130具有自对准的陶瓷窄轨迹静电卡盘（ESC），用于在加工过程中保持晶片。ESC提供高均匀度的磁感器卡盘温度和压力，确保整个晶片的均匀蚀刻速率。Gamma 2130还具有气体界面面板（GIP），可方便气体装卸，以及精确控制反应物气体流量和溷合。该工具在选择工艺气体及其组合方面提供了灵活性，为各种应用要求提供了各种各样的工艺选择。NOVELLUS Gamma 2130的蚀刻工艺是借助原位椭圆偏光计进行实时实时蚀刻端点检测的优化。它还提供了过程开发、腔室优化和后处理分析等综合诊断功能。Gamma 2130可轻松集成在洁净的房间环境中,并提供低廉的运营成本,使其高效且经济高效。其优越的蚀刻均匀性和选择性使其适合晶体管、电容器和电阻蚀刻工艺等广泛的应用。