二手 NOVELLUS Gamma Express #293618743 待售
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ID: 293618743
晶圆大小: 12"
Stripper / Asher, 12"
MF: GAMMA 2130 Upgrade
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Cables: TM to sub panel, 100 ft
MDP Powerbox
External interlocks
Etcher chamber: Positions 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher 30 ft
MKS GHW-50A Generator
HI-THLD (XPR Type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
Monitor: Flat panel display touch screen type
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express是一种蚀刻/asher设备，用于生产高性能集成电路。它能够在多种先进材料中产生多种高分辨率的口罩、接触层和金属痕迹，包括非晶硅、多晶硅、钨、金和其他导电材料。它是微电子制造中的重要工具，能在短时间内产生高可靠性的复杂模式。Gamma Express的主要部件是其主机和关联的控制系统。大型机装有实际的蚀刻器/asher，能够执行高度精确和可控的蚀刻和沉积步骤。该系统可在压力、温度、停留时间和蚀刻环境等多种工艺条件下运行。它还能够进行多次蚀刻循环，能够精确蚀刻各种材料进行原型制作。NOVELLUS Gamma Express也能够製作精确且可重现的影像进行检查验证。它具有先进的光学检查能力，利用非接触、无损技术在蚀刻前检测任何缺陷。这也可用于在蚀刻之前检测任何功能问题并保护蚀刻过程的准确性。Gamma Express专为高速、高性能和高精度而打造。它达到了很高的沉积速率，能够在几分钟内达到理想的结果。该系统还具有多种气源，能够对蚀刻过程进行极好的控制。NOVELLUS Gamma Express具有先进的控制功能,能够同时处理干湿过程气体,从而实现最高级别的蚀刻精度。Gamma Express还配备了用于人员和设备保护的先进安全功能。这些功能包括高级监控、警报和内置紧急停止,在发生任何违规情况时启动。综上所述，NOVELLUS Gamma Express是一款高度先进的蚀刻器/asher设备，可以快速可靠地在多种材料中产生高度精确和可重现的图桉。它专为高速、高精度而设计，并配备了多种安全功能，以保护人员和设备。
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