二手 NOVELLUS Gamma Express #293618750 待售
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ID: 293618750
晶圆大小: 12"
Stripper / Asher, 12"
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP Carrier
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Interconnect cables: TM to subpanel 100 ft
MDP Power box
External interlocks
MF: Gamma 2130 upgrade to gamma express
Etch chamber: Gamma 2130 / Position 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher, 30 ft
MKS GHW-50A Generator
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
HI-THLD (XPR type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
(2) Monitors
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express是一款最先进的蚀刻/灰化机,旨在对各种材料上的薄膜进行精密蚀刻和灰化。该装置用途广泛,能够处理各种基材,并实施多种工艺,包括干蚀、湿蚀、无掩模光刻和等离子体灰化。从半导体到MEMS设备,Gamma Express是任何需要精确和可重复薄膜处理的行业的理想选择。NOVELLUS Gamma Express具有完全可调的工艺室,允许广泛的基板和工艺参数使用。对腔室进行加压以保持温度和压力稳定,以便进行精确的蚀刻/灰化。它可容纳2x2mm至5x5mm的大基板尺寸,从而提高工艺吞吐量。机器还装有一套高分辨率数字图像传感器,为过程提供反馈控制。集成工艺模块具有直接输入,用于控制提供给不同工艺步骤的电源,从而能够精确控制蚀刻/灰度深度和选择性。该系统还有一个专有的图像矩阵计量系统,可实时准确测量蚀刻和灰化结果。集成工艺软件提供了全方位的统计数据,包括蚀刻速率、氧化物稀释率、选择性和均匀性。Gamma Express是一款高度可靠的蚀刻/灰化机,具有非常低的维护成本和易于维护的特点。它的设计目的是在最短的时间内快速设置,而只需要最少的操作员培训。该机器满足所有自动化要求,允许集成到生产线中。该装置由强大的PLC驱动,能够驱动多种工艺,包括为大型基材自动施用化学品。NOVELLUS Gamma Express是薄膜处理的理想工具,提供精确的蚀刻和ashing功能。集成过程软件可确保可重复的结果,不会出现操作错误。该机器提供准确的结果,同时快速可靠地提供高吞吐量。Gamma Express具有高精度的蚀刻和灰化功能,是众多需要薄膜加工的行业必不可少的工具。
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