二手 NOVELLUS Gamma Express #293642130 待售

NOVELLUS Gamma Express是一款先进的蚀刻/asher设备，设计用于执行半导体和介电器件制造中的关键、大容量和高纵横比蚀刻和灰化应用。这种最先进的蚀刻/灰化器系统旨在为各种基板（主要是硅和其他半导体材料）提供高速和高精度的蚀刻和灰化,具有卓越的吞吐量、工艺均匀性和产率。Gamma Express配置了高效的设计,并结合了远程等离子体功能、垂直和横向定向工艺、线性射频和电容材料兼容性、减少辐射工程以及全自动基板处理单元等技术。这些功能可创建最佳蚀刻环境,从而降低与手动处理、装配和控制操作相关的风险。NOVELLUS Gamma Express由氮等离子体源提供动力，能够提供高强度等离子体、快速蚀刻速率和均质过程。远程等离子体源可确保在各种材料上实现均匀和可重复的蚀刻线工艺,这些材料包括：硅、铜、散装、钛、铝和其他金属。此高级蚀刻线配置的最大等离子体持续时间可达8分钟,蚀刻速率可达6 μ m/min,具体取决于基材。全自动基板处理是非常可靠和高效的，提供快速和可重复的处理与减少手动处理和零件输入。Gamma Express还包括一个先进的嵌入式过程控制机，使用户能够监视、调整和编程工具以获得最佳性能。这一先进的控制资产提供了四种蚀刻和灰化工艺配方，每种配方都具有可调的"蚀刻速率"参数，以容纳各种基材和材料。用户还可以自定义其蚀刻线配方,以实现更高的吞吐量速度,或优化其针对特定层或特征的流程。NOVELLUS Gamma Express的设计满足高精度、大型晶圆规模的制造要求。这种先进的蚀刻/asher模型还提供了一致的高工艺一致性,从而实现了高产量、经济高效的设备制造。Gamma Express旨在提供当今先进半导体器件制造要求所需的可靠性和可重复性。