二手 NOVELLUS Gamma Express #9169777 待售

NOVELLUS Gamma Express是一款高精度的蚀刻器/asher，设计用于在半导体制造过程中使用的各种基板上产生非常精确的产品特性。它专为高通量、高精度的微加工应用而设计，有多种腔室配置，用于蚀刻和灰化。Gamma Express是利用各向异性和干蚀刻工艺的单一晶圆、多室蚀刻器/asher设备。它能够产生低至5微米的特性大小，并且具有工具到晶圆的处理时间快达4秒。它具有先进的Cryo ECR源和氧气和氮气两种工艺气体，可提供精确的蚀刻和灰化工艺。其Intermix腔室包括两个修改蚀刻选择性和厚度的成分（用户可配置）。其Jet Etch Enhancer与市面上的其他蚀刻器和ashers相比，提高了生产率。NOVELLUS Gamma Express采用了SENTRYX控制系统,该系统提供了一个完全集成的过程控制单元,并具有用户友好的控制功能,使用户能够使用其RecipeEditor创建和管理蚀刻和灰化配方。它的高级诊断工具有助于跟踪工具性能,并为预测性维护提供分析。它还具有JETON eXchange,用于控制清除过程以减少刀具停机时间。此外，Gamma Express还包括一个双区负载锁定室，旨在减少晶圆的操控和污染，减少停机时间。最后，它有一个双臂机器人以最大速度安全转移晶片，以降低拥有成本。NOVELLUS Gamma Express蚀刻机具有先进的控制机器和处理多种基材的灵活性,是任何半导体生产环境下的理想工具。它提供精确的蚀刻和灰化过程,提高了生产率并降低了拥有成本。