二手 NOVELLUS Gamma Express #9171640 待售
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ID: 9171640
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Asher, 12"
Computer: ADVANTECH 620
Service PC: Integrated
Loader:
Single arm robot
Multi-slot transfer
(3) BROOKS AUTOMATION Fixload 6M Loader port
Blade: Ceramic
Chamber type:
(6) Platens
(6) Shower heads
(3) Top RF matches
Gas box:
MFC 1: CF4
MFC 2: H2 / N2
MFC 3: N2
MFC 4: O2
RF Power supply:
Matcher: ENI GHW-50A / COMDEL CPMX-3000
2004 vintage.
NOVELLUS Gamma Express是一款先进的半导体微加工蚀刻器/asher。它专为高速、超高精度、出色的涂层均匀性而设计。它广泛应用于晶圆厂环境中处理半导体晶圆。Gamma Express由两大组分组成：1）冷凝器，这是一个包含蚀刻/灰分气体和底物的真空室；2）输电系统，负责将输出源输送到基板。蚀刻/灰烬源是电子束枪，为了蚀刻/灰烬材料而产生高能离子。电子和气体分子之间的相互作用在底物上产生蚀刻/灰度模式。NOVELLUS Gamma Express由于精确控制光束路径，为蚀刻/ashing图桉提供了极好的均匀性。它配备了各种卡盘、准直器和光学系统，以精确对准基板，确保均匀蚀刻。蚀刻器/asher还包括各种脉冲电源和用于精细控制过程参数的异步驱动程序。这样可以精确控制蚀刻速率、深度、均匀性、选择性、蚀刻长宽比等等。Gamma Express还配备了几个先进的安全功能，如粒子探测器、真空监测器和污染监测器，以确保工作环境安全。功率设置、气流、排气压力等工艺参数在运行过程中均可实时监控。在尺寸方面，NOVELLUS Gamma Express相当紧凑，尺寸只有540毫米宽，515毫米深。这使其适合于中型至大型半导体加工作业。Gamma Express也很经济，其竞争价格使得它成为许多微加工工艺的热门选择。总体而言，NOVELLUS Gamma Express是一款先进的半导体微加工蚀刻器/asher，拥有出色的工艺控制能力。其卓越的精度、均匀性和安全性措施使其成为半导体加工应用的理想选择。
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