二手 NOVELLUS Gamma Express #9314670 待售

NOVELLUS Gamma Express是为生产和开发提高产量而设计的蚀刻和灰化设备。它能够在单个系统中进行干蚀刻、湿蚀刻、灰化和碘剥离。Gamma Express平台提供等离子体兼容性，结合高精度对准技术以及快速循环和基板鉴定时间。NOVELLUS Gamma Express旨在提供高质量、可重复的蚀刻工艺,并具有高吞吐量。为实现这一目标，它采用了先进的光学对准装置，能够对各种基材进行精密光学成像，包括硅、砷、氧化硅。这样可以快速准确地蚀刻小尺寸的特征,并确保在整个蚀刻过程中保持一致的成像机。蚀刻过程使用高压射频电源提供的射频（RF）电源进行。这种射频功率用于产生等离子体气体，然后根据基板位置、材料和蚀刻参数将其定向通过蚀刻室。这一过程确保了均匀的蚀刻环境和高水平的介电隔离。Gamma Express还能够对需要更高级别去除率和选择性的应用程序进行湿蚀刻。这一湿蚀刻工艺利用液体蚀刻剂，如XeF2，结合优化的射频模式，确保精密蚀刻。此湿蚀刻工艺可用于高长宽比特征,例如：沟槽、通孔和接触孔。除了蚀刻和湿蚀刻，NOVELLUS Gamma Express还能进行灰化和碘剥离。灰化过程利用氧基气体从晶圆表面去除残留的感光有机层材料。另一方面，碘剥离利用含氯气体去除光刻过程中未完全开发的光致抗蚀剂。总体而言,Gamma Express是一款高度先进的工具,可提供精确的成像、高吞吐量、与多个基板的兼容性以及快速的循环和基板鉴定时间。它是一种可靠的蚀刻和灰化资产，旨在最大程度地提高生产和开发应用的产量。