二手 NOVELLUS Vector Express AHMxT #9213313 待售

NOVELLUS Vector Express AHMxT是一种双室蚀刻/asher设备，专为浅沟隔离（STI）等先进半导体应用而设计。它提供了一种高效且经济实惠的方法来蚀刻/灰化高达150 nm的特征尺寸的电线。Vector Express AHMxT具有两个独立控制的模块，允许并发蚀刻和asher过程，以及一个易于访问的用于维护和清洁的腔室。NOVELLUS Vector Express AHMxT的蚀刻室配备了高通量、多频等离子体发生器，可处理特征尺寸在5到150 nm之间的材料层。ALD/CVD类工艺也可以在腔室装有选定前体时进行。利用智能控制逻辑，蚀刻室能够以非常高效和经济高效的方式实现非常高的蚀刻速率。Vector Express AHMxT的asher室利用源质谱仪提供了对工艺气体和基板温度的精确测量，以及改进的气体溷合能力。Asher能够在非常精确的控制下处理高达150 nm的特征尺寸的材料。该系统还配备了晶片级装载机，便于在STI和大马士革加工等应用中进行基板装卸。NOVELLUS Vector Express AHMxT的常见应用包括：浅沟隔离（STI）、浅沟隔离（STI）、接触孔、闸沟、垂直和水平互连以及大马士革加工。该装置能够产生很高的蚀刻速率和优良的表面均匀性和清洁度。此外,Vector Express AHMxT还提供出色的摆动和可重复性,从而实现高产率和一致的设备特性。总体而言,NOVELLUS Vector Express AHMxT为半导体制造商提供了用于高级设备制造和处理应用的高性能蚀刻/粉碎机。其双室设计允许并行蚀刻和灰化，其先进的等离子体发生器和源质谱仪提供精确的控制和出色的重复性。由于其高吞吐量和高效的处理,该工具还可以节省成本。