二手 NOVELLUS Vector Express #9125995 待售
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已售出
ID: 9125995
PECVD Systems, 12"
Process: AHM
PECVD (Chemical Vapor Deposition)
Currently in fab
Configuration selections:
Silane Oxide-USG (standard)
Silicon nitride-SiN (standard)
Anti-reflective layer - Pearl
Nitrogen free anti-reflective layer -N- free pearl
Ashable hardmask
Facilities configuration:
Bottom (default)
Remote interconnect cable lengths:
75ft (Default)
Primary user interface location:
Right (default)
Options:
Factory automation communication
Interface (AGV or OHT interface)
Clean room installation kit
High speed spindle
Heated process module manometer
Leak-check shutoff valve for process module
Vector gas box options
(3) Additional gas lines per gas box:
O2 Gas line
CO2 Gas line
C2H2
Customer engineering specials and/or additional items:
CES 4-Light towers (CESCVD04321A)
CES IMM Readiness for 2 FOUP
CES gas box special GIB (CESCVD04339A)
CES gas box safety exhaust Enclos(CESCVD04357)
RF Switch plasma treatment hardware
Hermos ID reader 6M loader (CESCVD04325A)
2005 vintage.
NOVELLUS Vector Express是一款高性能蚀刻和asher设备，可以处理广泛的层栈，包括许多用于先进芯片技术的新材料。该系统基于双区域体系结构,具有两个独立的处理区域,用于蚀刻和asher操作。双区域体系结构可通过单个单元实现高吞吐量和灵活性,同时提供多种流程选项和功能。Vector Express一次最多可以加工四个基板，为大批量制造提供了高效可靠的平台。该机的高精度模具可以精确控制蚀刻和灰化操作，同时最大限度地减少缺陷，提高产量。NOVELLUS Vector Express具有高密度等离子体源，提供出色的均匀性和业界领先的蚀刻速率。该工具可为关键布局特征实现非常低的CD均匀性和线宽粗糙度规格，使其可用于多种过程，包括高精度的杀盐剂图桉。资产还包括先进的蚀刻工艺控制功能，如实时多区域真空反馈、改进的多点蚀刻速率控制、集成视觉等。这些功能可以精确控制产品尺寸和组成要求。Vector Express还具有等离子体腔的严密温度控制功能，使其能够处理具有极小或狭窄临界尺寸特征的温度敏感材料。此外，对于各种材料或工艺参数，可以根据需要加热或冷却等离子体腔。NOVELLUS Vector Express是需要高吞吐量和灵活性的蚀刻和asher应用程序的理想选择。它可以处理各种层栈和特征大小，具有严格的尺寸控制和出色的工艺均匀性。集成的高级过程控制和视觉系统提供了卓越的产品质量,使Vector Express成为大容量蚀刻和asher应用的理想选择。
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