二手 NOVELLUS Vector Express #9203793 待售

NOVELLUS Vector Express是一款高速蚀刻和灰化设备，设计用于半导体器件制造的高级工艺灵活性和性能。它结合了多种专有技术，使得能够在单个处理室中创建广泛的集成电路（IC）。该系统提供卓越的吞吐量率、控制的拥有成本和最佳的空间效率。Vector Express拥有创新的、独立的设计,能够以最小的工作量和操作中断来安装和设置Vector Express。NOVELLUS Vector Express用于各种蚀刻和灰化工艺。根据应用程序的复杂性,设备可以在多步处理中蚀刻设备的单层或多层。也可用于各种晶圆清洗和回填任务。该机设计有两个主要部件：主加工室和热传递室。后者是一种微型炉，用于产生用于蚀刻、灰化和退火过程的自由基。为了确保最大生产力,Vector Express采用了先进的滚子快门,可以在不中断处理周期的情况下快速加载和卸载晶片。处理器还具有直观的用户界面,具有方便的触摸屏访问功能和参数。该工具最多可存储8种配方，允许在流程之间快速、方便地切换。还集成了一个常用气体组合物库，允许用户快速访问常用气体溷合物。NOVELLUS Vector Express配备了电阻和感应等离子体源，使资产实现高精度和高通量的蚀刻和灰化。它还使用低频等离子体来减少粒子生成，同时确保特殊的蚀刻均匀性。该模型的强健设计与各种工艺气体配合使用,以实现与现有生产线的最佳集成。最后,Vector Express提供了出色的过程监控,允许实时调整和优化处理条件。综上所述,NOVELLUS Vector Express是一款高级蚀刻器和asher,可提供卓越的吞吐量速率、高效的空间消耗、出色的控制功能和直观的用户界面。它具有强大和创新的设计,是希望最大限度地提高生产能力的芯片制造商的理想选择。