二手 NOVELLUS Vector Express #9203794 待售

NOVELLUS Vector Express是一款创新的高端蚀刻设备，设计用于高容量半导体和集成电路行业的经济高效且节省时间的生产。利用Vector Process Control, Vector Express系统围绕经过验证的NOVELLUS平台构建,为各种蚀刻应用程序提供快速一致的结果。NOVELLUS Vector Express以每小时6,000个晶圆的速度运行,能够以高可重复性和精确度刻蚀不到1微米的复杂特性。Vector Express专为绝对均匀性而设计,与手动蚀刻系统相比,允许更大的过程控制,并允许制造工程师快速建立高效的蚀刻过程。该综合单元配有一个标准工艺模块（SPM），该模块能够控制和整合多达四个腔室，以及一个集群模块重复（CMR），带有额外的腔室和工艺控制。NOVELLUS Vector Express机器占地面积很小,非常适合用于紧凑、自动化的制造机箱,而其集成的功能集和可扩展性确保了在一系列应用程序中的高速性能。该蚀刻器提供了对偏置、电压、压力和温度的闭环控制,允许精确和受控的蚀刻参数,从而确保更详细、误差最小化。Vector Express专为光子活化蚀刻（PAE）而设计，该工艺使用专门的激光脉冲以比传统蚀刻工艺更高的精度和分辨率蚀刻材料。它还包括用于远程和无人值守操作的专用模式老化阀（PAV）技术,允许自动启动和关闭,而无需操作员干预。总体而言,NOVELLUS Vector Express专为实现最佳蚀刻性能而设计,集成了硬件支持,可实现卓越的工艺控制。与业界目前提供的许多其他蚀刻系统相比,Vector Express提供了更快的处理率,同时为批量生产工作提供了卓越的性能和成本节约。