二手 NOVELLUS Vector Express #9210888 待售
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已售出
ID: 9210888
优质的: 2007
PECVD System
Vector processes: Advanced ashable hard mask
Facilities: Bottom
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user interface: Flat panel right
Load lock pump: Express load lock pump
Atmospheric robot: Friction end effector
Mounting for light tower:
Audio buzzer
Wall / Flush mount
System options:
Signal tower: 4 Color light tower (RYGB)
IMM Readiness: Over left load lock
Third FOUP Option
(3) Foup RF ID reader
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display package
Heated process manometer
Leak check shut off valve
2007 vintage.
NOVELLUS Vector Express是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在为半导体器件制造中的蚀刻和灰化提供最佳质量和性能。它采用先进技术开发,能够以更高的效率和更低的处理成本制造出质量更好的芯片。这使其成为希望通过提高成本效率提高产量的制造商的理想工具。Vector Express构建在一个高级平台上,该平台为各种材料提供了卓越的蚀刻/灰化方法。它利用具有预定的蚀刻/灰化速率的激光束,可以精确控制蚀刻/灰化过程。NOVELLUS Vector Express还拥有先进的过程控制设备,可帮助优化结果并确保跨蚀刻/灰烬的质量一致。此外,系统可以运行多达九种不同的加工配方,提供为各种材料创建可定制模式的灵活性。除了最大限度地提高蚀刻/灰化工艺的准确性外,Vector Express还提供了许多其他功能,使其成为市场上最先进的解决方桉之一。这包括一个低温灰化装置,它可以降低材料损坏的风险,同时仍能获得所需的蚀刻结果,以及一个有助于减少非均匀图像伪影的精密清洁和对齐机器。NOVELLUS Vector Express通过使用先进的低噪声负载锁定工具改进晶圆处理,进一步提高了其本已优越的性能。Vector Express还配备了直观的用户界面和广泛的安全功能。这包括在流程异常时自动关闭,以及警报通知和蚀刻参数监控。所有这些功能结合在一起,使NOVELLUS Vector Express成为功能强大且可靠的蚀刻/灰化资产。凭借其先进的技术和全面的功能,Vector Express非常适合在一系列半导体器件制造材料上提供卓越的蚀刻/灰化性能。
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