二手 NOVELLUS Vector Sola #293641465 待售

NOVELLUS Vector Sola是一种蚀刻器/asher设备，用于蚀刻和粉刷各层半导体器件。该系统采用多束激光器，单步精确结合蚀刻和灰化，允许快速原型制作和半导体生产。该单元以数字光处理（DLP）投影机为基础，结合了多个镜头和镜子，将激光聚焦并引导至处理区域。DLP模块具有高级空间光调制器（SLM），波长为260 nm，可处理小至35nm的特征大小。这是当前任何一代蚀刻器/灰烬的最高分辨率。Vector Sola还具有高生产率蚀刻（HPE）模式,与市场上的其他系统相比,该模式可将处理速度提高三倍。其他独特的功能包括JetEtch技术，它提供脉冲等离子体蚀刻与连续像素之间的时间间隔很小。这使得快速蚀刻深或宽的沟渠成为可能。该工具还具有其他一些优点，如保护基板免受气流波动的Argon等离子体保护（APP）、提高激光能量和功率稳定性的自我优化准分子激光器（SEL）以及提高工艺精度的先进扫描级运动技术。NOVELLUS Vector Sola配备了用户友好的图形用户界面（GUI），用于控制操作和功能，以及可配置的参数，用于最佳蚀刻和灰化。该界面还使用户能够查看蚀刻和ashing进度,这对于精确的过程控制非常重要。此外,Vector Sola还针对成本效益进行了优化,可以精确执行湿式清洁、灰前蚀刻和跳过蚀刻等蚀刻后清理操作。资产的紧凑尺寸有助于降低模型成本,并允许半导体生产操作实现自动化,如自动压印、自动旅行和自动传输。NOVELLUS Vector Sola是需要精确控制、高分辨率和高通量的多束激光蚀刻和灰化的应用的理想选择。它是一种高度通用的设备,具有一系列可配置的参数,可以轻松定制以满足各种生产过程的需求。