二手 NOVELLUS Vector Sola #9285851 待售

NOVELLUS Vector Sola是一款高级蚀刻器/asher，旨在启用高级计量和高级工艺模块，用于高精度蚀刻、灰化和气相沉积（PVD）应用。Vector Sola为高级流程应用程序提供了高速、高精度和经济高效的解决方桉,为客户提供了满足其阵列和沉积需求的最佳解决方桉。NOVELLUS Vector Sola配备了用户友好界面的16英寸显示器、I- LID™沉积设备和QuikLoad™晶片处理系统，以实现沉积和蚀刻过程中的卓越工艺控制。此外,Vector Sola还提供高精度放置单元,包括高级软件算法,用于精确高效的晶圆装卸。NOVELLUS Vector Sola利用蚀刻、灰化和沉积系统的最新技术提供卓越的性能。它配备了先进的RF/gamma光源，具有卓越的蚀刻性能，专用的1150°C石英管炉用于灰化应用，以及独特的QuikLoad ™晶圆加工机用于过程控制。此外,Vector Sola还利用了一种专有的气体输送工具,该工具能够精确控制反应性气体的流动,以实现快速热处理。NOVELLUS Vector Sola还包括各种先进的探测器和计量组件，以便能够在整个蚀刻、灰化和沉积过程中进行精确的分析。QuickScans™反射计和QuikGuage™计量资产等多种光学探测器提供了精确的分析。此外,还提供了一个专门的淬火阶段,以提高均匀性、效率和准确性。Vector Sola还具有可配置的气体输送控制功能,并配有精确的质量流量控制器,旨在提供准确且可重复的流量。该模型提供高压隧道和定向气体输送，为所需的薄膜或层提供了精确的破坏。总体而言,NOVELLUS Vector Sola是一款具有先进技术、精密计量和过程控制系统的高性能蚀刻器/asher,可为客户提供蚀刻、粉刷和沉积应用的最佳选择。