二手 NOVELLUS Vector #9149328 待售

NOVELLUS Vector是专为满足当今半导体市场苛刻需求而设计的高性能蚀刻器/asher。它提供各种不同的型号,可配置为适合任何大小和类型的芯片或主板。它使用最新的技术来实现快速循环时间、高产量、一致的蚀刻轮廓以及跨大基板的均匀性。矢量蚀刻器设计用于许多基板的精密蚀刻和灰化，包括铜、铝、氧化硅、钢、镍和铝。该系统具有很高的蚀刻速率和均匀性，特别适合于要求高精度和可重复性或精细特征定义的应用。NOVELLUS Vector蚀刻器使用反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体增强化学蚀刻（PECE）的组合来实现高通量。一种最先进的等离子体源被用来电离提供给腔室的反应气体，而PECE技术则增加了蚀刻器的操作灵活性。这些结合起来提供了高质量的过程结果并减少了处理时间，使得Vector蚀刻器成为同类产品中最快的一个。就其可用参数范围和系统可配置性而言，NOVELLUS Vector蚀刻器很难被击败。它提供了高温和低温处理,以及在蚀刻时间和其他控制参数方面的过程灵活性,为用户提供了针对其特定应用优化过程的控制。此外,Vector蚀刻器还具有高级工艺控制功能,因此用户可以准确监控基板蚀刻和蚀刻速率。NOVELLUS Vector蚀刻器通过结合其专有的"OptiVect"蚀刻工艺实现了卓越的可重复性和特征定义。计算机控制的射频（RF）电源提供了对多频率范围的精确和通用的控制,从而实现了尽可能高的过程均匀性。总之,Vector蚀刻器提供了业界最佳的性能标准。NOVELLUS Vector蚀刻器利用尖端技术和强大的过程控制功能,将快速处理时间与出色的特征定义和一致性结合在一起。对于任何需要精确和统一的过程,它们都是理想的选择。