二手 NOVELLUS Vector #9167159 待售

NOVELLUS Vector是一款高精度的蚀刻器/asher，专为精密蚀刻、灰化和材料表面去除应用而设计。Vector将两个设备平台结合在一个工具中-一个蚀刻设备和一个灰化系统-允许用户处理材料,如Si、GaAs、石英和玻璃,并获得单步结果。NOVELLUS Vector还利用了先进的蚀刻技术，提供了更高的精度和控制水平。矢量非常适合具有高长宽比、紧密公差模式可重复性和高蚀刻选择性的蚀刻轮廓。它可以处理多种晶圆尺寸，包括4"、6"和8"。NOVELLUS Vector还具有使其非常适合先进的图样化应用的功能，如微加工、微加工、集成电路制造以及金属和电介质的沉积/蚀刻。Vector使用DirectedCathodne Beam技术（DCB）确保高蚀刻速率和最佳材料选择性。DCB技术还确保了精确、统一和高度可重复的模式配置文件。NOVELLUS Vector用户可以调整其蚀刻工艺参数和工艺流程，以产生与其他蚀刻组件协同工作的统一特征。Vector配备了几种安全特性，如含有和隔离腐蚀性和危险材料的屏蔽化学输送装置，以及介电和金属蚀刻材料的安全环境。机器还装有激光冷却工具，用于保护工艺室和晶片。NOVELLUS Vector是蚀刻应用的理想工具,具有先进的控制、可重复性和精确度。它非常可靠,需要最少的维护,并产生一致的过程结果。其可靠的过程稳定性可提高吞吐量和成本节约。Vector还提供了灵活性和可用性的独特融合,允许用户优化其流程参数和流程以满足其需求。