二手 NOVELLUS Vector #9195888 待售

NOVELLUS Vector是一种高精度的蚀刻器/asher，专为半导体材料的晶圆级处理而设计。它是一种高度先进的设备，可以同时用于等离子体和热蚀刻过程。Vector能够在薄膜上产生非常小、形状精确的图样,但也提供灵活的可扩展性和吞吐量。它为等离子体蚀刻和灰化过程提供了一个灵活的平台。NOVELLUS Vector先进的硬件、软件和光学技术有助于提供高性能的灰泥、蚀刻和清洁。其薄膜Ashing Module （TFAM）是一种真空室，专为需要高分辨率、低能量、低温Ashing等特殊特性的特定应用而设计。Vector的Mainframe Chamber提供坚固耐用的热蚀刻工艺,具有最大的灵活性。NOVELLUS Vector的高分辨率Mask Alignment系统允许在腔内精确放置产品和口罩。Vector还提供了蚀刻和asher过程的高级自动化。它通过自动检测腔室条件、产品特性和工艺参数提供了内置的可重复性。NOVELLUS Vector的软件包括功能强大的图形用户界面（GUI），它为远程操作、数据采集和诊断提供了一个易于使用的平台。Vector的多盒式加载单元扩展了吞吐量功能并降低了运营成本。其真空管理机（VMS）有助于控制颗粒水平，为蚀刻/灰化过程提供更高的性能。此外,NOVELLUS Vector还具有直观且用户友好的增强负载锁定工具,可减少晶圆损坏。Vector的等离子体蚀刻和asher选项提供一致的高性能和低循环时间。此外，NOVELLUS Vector通过其低能源确保环境友好的加工气氛。总体而言,Vector是一款用途非常广泛的蚀刻/粉碎机,具有高精度的功能、出色的可扩展性和高吞吐量,可用于要求苛刻的晶圆级流程。