二手 NOVELLUS Vector #9262780 待售

NOVELLUS Vector是一款蚀刻器/asher，设计用于生产具有出色特性尺寸、深度和均匀性的半导体器件。它特别适合生产超细间距产品,如DRAM后端互连、Contact/via阵列、PWB和翻转芯片基板。Vector是一种高通量设备,具有精确的掩码放置功能。它围绕高性能扫描表和高级ICP蚀刻源构建。此设置允许精确调整蚀刻过程,从而获得非常高的质量结果。还包括一系列先进的成像和计量工具，以实现无损过程控制。NOVELLUS Vector的扩展工作包络确保所有大小和几何形状的特征都能被高精度蚀刻。Vector在蚀刻前使用柔性PECVD/OCD氧化物涂层。这种涂层提供了优越的缺陷控制，使工艺产量最大化，同时确保即使是最具挑战性的基板上的良好保形性。NOVELLUS Vector在通过双层特征和盲孔的刻蚀方面也非常高效。该系统能够以卓越的深度均匀性和细线分辨率刻蚀孔、触点和其他特征类型。Vector先进的工艺控制确保了良好的可重复性和低排泄率。系统的高级过程监控能力大大缩短了周期时间，确保蚀刻过程保持在精确的规格。这导致产量提高和废品率降至最低。该装置还具有先进的缺陷监测和控制能力，使其比传统蚀刻器具有更好的缺陷检测能力。总而言之,NOVELLUS Vector是一款具有卓越工艺控制功能的卓越蚀刻器/asher。该机器有助于大幅缩短循环时间,并且可以轻松蚀刻具有一致深度估计和最小边缘粗糙度的超细间距产品。其先进的成像和计量工具确保以极低的废品率生产质量最高的产品。