二手 NOVELLUS Vector #9294444 待售

NOVELLUS Vector是业界领先的蚀刻器/asher，用于化学机械抛光，或CMP。它持续产生高质量的结果，并为各种蚀刻和CMP工艺而设计。Vector使用硬件和软件的独特组合,在多种材料中始终提供高蚀刻速率、化学选择性和表面平面化。NOVELLUS Vector是一款用途广泛的蚀刻器/asher，旨在实现蚀刻和化学机械平面化（CMP）工艺的自动化。它是一个模块化系统，可以根据用户的需求定制，设计用于先进的半导体制造。Vector具有许多高级设计和蚀刻组件,可确保精度和控制。NOVELLUS Vector利用PECVD（等离子体增强型化学气相沉积）将SiO2、氮化物等相关膜沉积到所选择的基板上。此沉积过程之后是RIE（反应性离子蚀刻）和CMP（化学机械抛光）技术来完成蚀刻和平面化过程。Vector能够对厚达500 nm的材料进行蚀刻和平面化,并具有集成的等离子体源以及蚀刻技术的最新进展。NOVELLUS Vector还具有独特的软件界面,可以精确控制过程参数以及完全自动化蚀刻过程。这使得用户可以轻松调整设置并创建自定义的蚀刻作业,同时让您放心,无论调整参数多少次,他们的蚀刻结果都将保持一致。此软件以用户友好的语言构建,包括教程和在线支持。除了Vector背后的技术外，它还拥有精密的腔室设计和制造，提供了最高水平的可靠性和性能。腔室组件的设计既考虑了CMP工艺，也考虑了蚀刻工艺，有助于确保整个蚀刻和平面化工艺的准确性和精确度。总体而言,NOVELLUS Vector是业界领先的蚀刻器/asher,旨在提供最高质量、一致精确的结果。它具有先进的硬件和软件技术，以及全面的腔室设计和制造，以确保可靠性和性能。矢量非常适合任何规模的行业,是您所有蚀刻和平面化需求的理想选择。