二手 NOVELLUS Vector #9379236 待售

NOVELLUS Vector是NOVELLUS Systems开发的一种高度精确的蚀刻器/asher,用于各种材料的蚀刻和灰化。Vector能够在亚微米级（亚于5nm）进行精密蚀刻和灰化。它采用了NOVELLUS专利扫描电子束（SEB）技术，提供了一个非常精确聚焦的电子束，这是高质量、细线蚀刻和灰化所必需的，这对于生产复杂、细间距的芯片至关重要。NOVELLUS Vector还具有单晶片负载锁、内部散热器和外部热卡盘，用于精确的热控制。晶圆加载在Vector的负载锁室中，光束聚焦在其表面。凭借其高度精确的扫描模式和超高速脉冲速率,NOVELLUS Vector能够比大多数竞争解决方桉更快地蚀刻和灰化,同时始终实现最高的分辨率和质量。此外，Vector的SEB使用户能够以高精度和均匀性将蚀刻材料应用到晶片上。NOVELLUS Vector还与其他NOVELLUS系统无缝配合，允许高度的过程自动化和集成。除Vector外，公司还提供Ares Fast Copper Damascene Solutions、Evolution介电蚀刻系统、Production Eversharp 蚀刻/ashing系统。这些选项为各种类型的材料提供了一系列蚀刻/灰化技术。