二手 NSC ES 371 #9144811 待售

NSC ES 371是一种用于半导体制造的蚀刻器/asher设备。它利用等离子体蚀刻技术在各种基板上快速准确地创建高精度图样。该系统具有真空电子束,可处理平面和3D格式的150 mm底物。它具有很高的均匀性和高产率，可以精确的蚀刻结果。ES 371采用模块化设计,便于维护和升级。它提供了一系列的工艺方法，包括RIE（反应性离子蚀刻）、ICP（感应耦合等离子体）和IBI（离子束诱导）。这些实施可增强对各种温度和气体溷合物的过程控制。该单元内置的自动调谐和反馈机器允许超精确的过程调谐和控制，有助于最大程度地提高蚀刻效率。此工具的工作温度范围灵活,标准工作温度从环境温度到300 °C不等。这个温度可以调整，以适应各种类型的基板。此外，还可以在NSC ES 371上进行不同类型的升华，使其成为多种蚀刻应用的理想平台。ES 371配备了多种安全功能,旨在保护用户和资产本身。这包括一个过载保护功能，它连续监测模型的异常电流和电压水平。此外，该设备还设计了一个漏水检测系统，可以检测设备内的漏水情况，以便及时进行维修和保养。总体而言,NSC ES 371是一种多功能的蚀刻/灰化机,能够满足高度精确的应用程序的需求。其温度和过程控制功能,加上强大的安全功能,使其成为半导体及相关行业应用的理想选择。