二手 OCCLEPPO 650-06-P-25 #9003041 待售

OCCLEPPO 650-06-P-25是为半导体晶片的精密蚀刻和灰化而设计的高性能蚀刻和灰化设备。利用高真空直流磁控管溅射惰性气体650-06-P-25蚀刻和灰烬晶片。这一过程允许以受控和统一的方式精确沉积材料。OCCLEPPO 650-06-P-25有一个能够蚀刻和粉刷直径达150毫米晶圆的加工室。该工艺室配有自动卡带至卡带传输、内置电脑化控制以及双向高真空闸阀。直流磁控管溅射系统包括三个独立电源共六个阴极，共八个溅射源。该工艺室由一系列工艺和温度控制器控制。650-06-P-25具有多种内置安全功能,包括自动气体强度控制单元、具有大气净化功能的低压工艺室、电离气体等离子体清洁系统和自动室内清洁循环。OCCLEPPO 650-06-P-25的构建是为了满足占地面积小、操作成本低以及高性能蚀刻和灰化的要求。650-06-P-25是一个先进的蚀刻和灰化机具有广泛的处理能力。适用于广泛的材料和工艺，包括硅、铝、金、金刚石薄膜的蚀刻和灰化，以及各种光致抗蚀剂工艺。它也适用于包括MEMS结构、3 D曲面和纳米制造结构在内的复杂几何形状的蚀刻和粉刷。OCCLEPPO 650-06-P-25能够实现高精度沉积,特征尺寸小至10 nm。650-06-P-25具有高精度直流磁控管溅射、高过程均匀性和可重复可靠的结果，非常适合要求苛刻的微加工工艺。OCCLEPPO 650-06-P-25也有一个易于使用的软件接口，并且CE认证在欧盟使用。