二手 OCCLEPPO 650-97-P-150 #193947 待售

OCCLEPPO 650-97-P-150是为各种半导体的蚀刻和灰化过程而设计的批量型蚀刻器/灰化器。它由双壁不锈钢结构组成，该结构采用了几种先进的特点，为微光刻应用提供了可重复和严格的工艺。它的底座设计为提供低压、均匀的温度和均匀的气流，而其腔壁则装有一次加热器和二次加热器以及高速燃烧器。这样可以对加热的材料进行精确的工艺控制。此外，650-97-P-150设计有一个高能见度石英窗口，用于过程监测。该设备与一套全面的阀门、流量控制器和气体溷合工具集成在一起，便于过程设置和控制。它宽大、可编程的触摸屏可以方便地设置和控制所有气流、温度和时间。内置的自动调谐和数据记录功能使过程监视和控制变得非常精确。此外，OCCLEPPO 650-97-P-150系统提供了一个高精度的替代手动阀门单元，其中包括一个两弯管泵和一个压力调节器。这使得调节气体流动和压力变得更加容易，以实现更精确的过程。此外650-97-P-150还具有安全功能,可在过程中保护操作员和环境。它包括一个双真空机和空气过滤工具，用于过程保护，以确保没有气体或化学物质逃离资产。其他安全和过程控制特性包括卤碳泄漏检测器、工艺气体净化模型、空气过滤设备。总体而言，OCCLEPPO 650-97-P-150是一种先进的蚀刻器/粉碎器，旨在满足工艺精度和安全性的最高标准。它设计用于广泛的半导体基板，并具有全面的过程控制和系统管理功能。Etcher/Asher是超高精度工艺的理想选择。