二手 OCCLEPPO 650-97-P-150 #9003042 待售

OCCLEPPO 650-97-P-150 蚀刻器/asher是先进晶圆加工应用的理想选择。这台机器具有很高的过程重复性和长期可靠性。其两级温控设备确保了良好的工艺温度稳定性，这对于实现高产至关重要。650-97-P-150 蚀刻器/asher具有宽敞的300微升工艺室,可直接蚀刻和粉刷直径可达150毫米的晶片。腔室配有一个25位旋转端效应器，在蚀刻和灰化过程中牢固、准确地固定和运输晶片。它还具有可变压力处理（VPP）系统,可确保更高的蚀刻和灰分速率,而不会影响晶圆的完整性。OCCLEPPO 650-97-P-150 蚀刻器/asher有一个内置的粒子过滤单元，以尽量减少晶圆污染。它具有集成的液气喷射器和先进的双温控制系统，以增加工艺灵活性。它还具有一个感应加热机，以确保均匀晶圆加热，以及一个过程监测工具与模拟和数字I/O的过程跟踪。为了增加安全性和便利性,650-97-P-150蚀刻器/灰化器包括安全互锁、泄漏和超压锁定电路、隔离排气孔和集成的灭火资产。OCCLEPPO还配备了一个10步触摸屏控制器，便于过程设置，所有基本参数都在液晶显示屏上清晰监控。OCCLEPPO 650-97-P-150蚀刻器/灰化器与多源气体兼容，可以很容易地针对不同气体进行校准。它有一个紧凑的设计，使得它完美的集成到一个处理生产线。OCCLEPPO具有卓越的构建质量和可靠的性能,是高效、精确晶圆处理应用的绝佳选择。