二手 OXFORD 100 #293824960 待售
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ID: 293824960
晶圆大小: 2″ / 3″ / 4″ / 5″ / 6″ / 8″ / 12″
优质的: 2013
Reactive Ion Etcher (RIE), 2″ / 3″ / 4″ / 5″ / 6″ / 8″ / 12″
Plasma source: 13.56 MHz RF, 0–600 W
Process gases:
Cl₂: 0–100 sccm
BCl₃: 0–100 sccm
CH₄: 0–50 sccm
Ar: 0–100 sccm
NH₃: 0–100 sccm
CHF₃: 0–200 sccm
N₂O: 0–200 sccm
Materials: GaAs, GaN, Si, SiC
Wafer thickness: 0.4 – 1.5 mm
Etch rate: GaAs ≥ 10 nm/min
RF power supply: HiLight 136+, 600 W, 13.56 MHz
APC pressure control range: 1 – 60 mTorr
ALCATEL ATH400M Process chamber vacuum pump
ALCATEL ATP150 Transfer chamber vacuum pump
Chamber temperature range: Room temperature - 70°C
Gas cabinet
Control system
Chiller
2013 vintage.
OXFORD 100+是一种高效率的商业级蚀刻和制造系统，设计用于生产完全定制、高质量的蚀刻产品。系统的用户界面简单直观，允许快速、轻松的设置和操作。100+采用重型工业级模辊机构，确保整个蚀刻过程的最大性能和一致性。模具滚筒由坚固的伺服马达提供动力，可以处理繁重的工作负载，并产生静音和流畅的操作。此外,模具滚筒还配有一个编码器,可实现精确的速度和精度控制,并在达到所需蚀刻深度时自动停止。OXFORD 100+还具有高功率激光蚀刻器。这种激光器能够将复杂的图桉、梯度和文字蚀刻成各种材料，包括金属、木材、塑料和陶瓷。激光的光束密度和功率输出可以根据特定材料和成品的需要进行调整。该系统还提供各种安全功能,确保操作员在使用机器时的健康。模具滚筒包含电源故障时的紧急停止机构,以及旨在保护操作员和正在蚀刻的材料的附加安全功能。激光蚀刻器装有1级激光安全罩，进一步确保操作员的安全。100+被设计成高产可靠的制造机器。OXFORD 100+提供了广泛的效率和灵活性,为任何蚀刻和制造项目提供了独特而全面的解决方桉。
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