二手 OXFORD 100 + #9139601 待售

OXFORD 100+是一种针对一般电子应用而设计的蚀刻器/灰化器，需要在各种气体中进行气相蚀刻和灰化。100+利用陶瓷加热元件和石英管在整个腔室提供一致的温度和均匀的气体分布。精确的温度控制与精确的流量控制方法相结合，允许对蚀刻或沉积参数进行最高水平的控制。OXFORD 100+的占地面积很小,为高端蚀刻和灰化应用提供了一个紧凑的解决方桉。100+的设计允许对电子元件和材料进行简单的蚀刻和粉刷。OXFORD 100+室由石英构成，保证了反应材料的高质量钝化。石英管的设计允许气体的均匀分布，无论基材尺寸或复杂性如何，都能提供可靠的蚀刻和灰化结果。100+还利用腔室中央的特氟隆绝缘陶瓷元件进行加热。加热器由外部电源供电,可提供一致的温度进行蚀刻或灰化。OXFORD 100+还设有流量控制设备，以确保蚀刻和灰化过程的准确性。该系统由LFC（低流量控制器）和CFC（恒流控制器）组件组成，分别连接气源和气室。LFC允许对气体进行精确和一致的计量，而CFC保持一致的内部腔室压力。作为附加控制，100+可以与流量控制阀一起使用，该阀可以控制气体的进出流量。OXFORD 100+是多类电子项目的有效蚀刻和灰化解决方桉。其石英管结构和特氟龙绝缘陶瓷元件提供一致的温度和可靠的蚀刻或灰化。该装置的精确度由流量控制机进一步提高，确保了精确、奇异的气体输送和腔室压力维护。当谈到高端蚀刻和ashing时，100+是理想的选择。