二手 OXFORD 80 #9140533 待售

OXFORD 80是一款多级高速蚀刻器/asher，精确度和控制力极佳。是OXFORD Instruments制造的完整设备，设计用于生产和研究环境中半导体晶片的干蚀刻和灰化。该系统的设计和特点使其成为先进薄膜蚀刻和灰化应用的理想选择，其可变压力和涡轮泵确保了可控蚀刻过程。它的先进设计使其能够将化学品使用量限制在最低限度，这对成本和环境影响都是有益的。80有三个工艺室-蚀刻室、蚀刻室焦点和asher室-每个都有单独的气体和压力控制。蚀刻室配有一个集成的压力控制阀和压力表，允许恒压和脉冲压力过程，以及在检测到低压时触发的自动安全截断单元。蚀刻室焦点还提供集成的压力控制，允许低处理压力和改进的控制蚀刻细腻结构时。Asher腔室配有涡轮泵和可变压力阀，在使用多种化学方法时控制出色。OXFORD 80在工艺化学方面具有很高的兼容性，具有蚀刻和粉刷大量材料的能力。它的精确度和过程控制允许精确的重复性，可移动的供气管线和可旋转的排气翼使其易于配置一系列蚀刻化学。该机器非常耐用,具有多种功能,可帮助其经受长时间的生产运行。它非常方便用户,具有简单的数字控制显示屏,有助于将停机时间降至最低,并提供详细的流程概述。综上所述，80是半导体晶片干蚀刻和灰化的绝佳选择。它的精确度、耐用性和控制能力使其非常适合生产和研究环境,而且它的易用性和兼容性有助于最大限度地减少停机时间并最大限度地提高生产效率。