二手 OXFORD 80 #9153430 待售

製造商
OXFORD
模型
80
ID: 9153430
Reactive ion etcher Open design ACG 5xl RF Generator Pressure controller: MKS 600 Series 2-Stage vacuum  pump Inbuilt control system R3 Plasma cleaner Lark sequencer 500 Generator (2) Gas inputs (2) Shelves: 12.75 x 12.75" (4) MFC Gas control systems Voltage: 208V Available: Turbo pump, MFC controls.
OXFORD 80是一种先进的蚀刻和灰化机,设计用于实验室。它能够进行各种蚀刻和灰化应用,包括闸门、损坏结构、接触孔、掺杂表面和氧化层。该机用途广泛,适用于各种基材和材料。80 etcher/asher是全自动的,无论用户的技能水平如何,都能提供一致的结果。它可以指定蚀刻/ashing任务的类型、蚀刻方向以及任务要重复的次数。机器的用户界面非常直观,允许精确控制蚀刻和灰化参数。OXFORD 80 蚀刻器/asher能够在硅片层或其他微结构材料上执行蚀刻和灰化程序。它可以处理一层或多层,并支持低电压偏置和多掩模对准等功能。此外,它利用无颗粒气源尽量减少对基板的污染或损害。80 etcher/asher非常可靠,具有高吞吐量的卓越工艺再现性。它配备了独特的喷嘴设计,并结合了降噪功能,以尽量减少实验室环境中的噪声污染。这台机器的维护得到了简化,提供了可视指示灯,提醒技术人员注意潜在的问题,以及用于故障排除的板载诊断程序。为了确保与它可以使用的各种基板的一致性,它还包含一个温度监测系统,以确保每种基板类型的温度根据所需的规格进行调节。OXFORD 80 蚀刻器/asher能够用各种气体蚀刻和灰化,以及可控的气流和射频功率水平。它还支持在不同温度下的多个晶片,这使得它成为测试新材料或设备的合适工具。总体而言,80个蚀刻器/asher是一种高效可靠的机器,用于蚀刻和研磨任务。适用于种类繁多的基材和材料,具有高通量的精密加工能力。它提供了卓越的工艺再现性和直观的用户界面,使其成为任何实验室的绝佳选择。
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