二手 OXFORD 90 Plus #9060476 待售

ID: 9060476
晶圆大小: 2"-8"
优质的: 1997
RIE System, 2"-8" Load lock and main process chamber (6) MFC (BCl3, Cl2, CH4, H2, Ar, O2) PFEIFFER Turbo TPH330PC (on main chamber) PFEIFFER Turbo TMH 260C (on load lock) LEYBOLD Mechanical pumps PC & Monitor 1997 vintage.
OXFORD 90 Plus是一款高级蚀刻器/asher,专为纳米结构和直接写蚀刻应用而设计。它旨在实现金属和非金属基板超精细蚀刻的极高精度和精确度。它配备了几个独特的功能,使其非常适合MEMS制造、微流体和高性能PCB等应用。90 Plus采用了最先进的脉冲发生器和数字电源控制单元,以确保高度精确和精确的蚀刻。它设计为以LID(激光诱导直接蚀刻)、OHE(光学辅助蚀刻)两种常见模式运行,可用于蚀刻金属以及非金属材料如聚合物、半导体和电介质。与传统的蚀刻技术相比,OHE模式提供了相当高的准确性和可重复性。OXFORD 90 Plus的核心是它的直写激光蚀刻系统,利用UV激光器将图样直接蚀刻到基板上。激光的焦点很小,系统提供的精度低至1至3纳米。这种精度水平非常适合在金属和一些非金属材料上创建纳米级结构。90 Plus还配备了其他几项功能,可提高其灵活性和用户友好性。它提供模块化设计、4轴扫描功能和内置晶圆处理系统,以提高吞吐量。它还具有完整的计算机控制功能,使用户能够快速轻松地创建自定义蚀刻模式并远程管理流程设置。OXFORD 90 Plus在各种蚀刻应用中得到了广泛的测试和验证,使其成为各种微制造任务的可靠和通用的选择。它具有高度精确的蚀刻和精确的晶圆处理功能,是微流体、MEMS和高性能PCB的理想选择。它的模块化设计和计算机控制能力使其适合高通量的生产过程,其激光聚焦的精密蚀刻使其成为纳米级蚀刻应用的理想选择。
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