二手 OXFORD ICP 100 #293655612 待售

OXFORD ICP 100
ID: 293655612
Reactive Ion Etcher (RIE).
OXFORD ICP 100是一种全自动、精密的蚀刻器/asher,设计用于生产高质量的微观图样、电路板和其他平面微尺度结构。它最多可以用三种不同的气体溷合物和多达10种独立的气体成分进行蚀刻,从而可以精确控制蚀刻过程。软件驱动的过程使用户能够设置各种参数,包括蚀刻速率、温度、压力和时间。该设备能够高度精确地控制加工气体的压力和激光强度,从而能够精确蚀刻微观图样。ICP 100包括一个集成的计算机控制单元、一个气动真空室和一个手动阀门控制单元。真空室配备了扩散泵、挡板和真空计,以确保即使是最小的特征尺寸的均匀蚀刻处理。内置的气体压力监测系统允许用户精确设置气体压力。OXFORD ICP 100的蚀刻室用专门设计的炉膛加热,该炉膛设计用于在加工过程中抵抗蚀刻磨损。主室温度可调,最大限度地提高工艺均匀性和控制蚀刻速率。该单元还配备了蚀刻板,该蚀刻板经过设计,可承受蚀刻过程中出现的高温和压力。ICP 100中的激光源被设计为有助于机器提供高水平的控制和精确度。它使用两种不同的波长-紫罗兰色450nm和绿色532nm-来优化工艺均匀性并实现对蚀刻参数的细粒度控制。此外,激光由快门工具驱动,进一步确保了均匀蚀刻处理。总体而言,OXFORD ICP 100的激光源具有在精确的150 dpmm蚀刻图样上蚀刻的能力,且底切程度最小。ICP 100还包括功能强大的计算机接口。此用户友好软件允许用户对所有必要的参数进行编程、监视和中继到流程控制器。此外,资产还提供了一系列可以更改的参数和设置,包括蚀刻压力、温度和时间。软件还提供了可编程抖动功能,可将蚀刻分辨率提高到200 dpi。OXFORD ICP 100适用于一系列的应用,包括生产微电子和电路板。它的精确度、速度和可重复性使得它成为在表面小至0.2毫米的基板上进行蚀刻的理想工具。ICP 100是精密蚀刻应用的理想选择。
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