二手 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus #293586570 待售
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ID: 293586570
Reactive Ion Etcher (RIE)
ALCATEL ACT-600T Turbo pump controller
Power: 208 VAC, 3 Phase.
OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus是一款功能强大的等离子体蚀刻器和asher，专为广泛的研究和生产应用而设计。它利用多种气体输送系统提供灵活、高度控制的蚀刻工艺，适用于湿法和干法蚀刻。它旨在在尽可能短的时间内持续提供精确、高质量的结果。Plasmalab 800 Plus适用于多种基材，包括硅、玻璃、陶瓷、碳化硅和聚合物材料。该系统还支持金属等离子蚀刻等材料类型。该蚀刻器具有令人印象深刻的控制程度和可扩展性,可针对不同的蚀刻要求对不同的蚀刻阶段进行最佳管理。OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus具有多种先进的蚀刻工具，如等离子体源执行器（PSA）、具有直流偏差的内热蚀刻站、预编程阶段移动、用于微调定时序列的VCR接口、远程控制接口、可选的PC控制监控系统和主动气体泄漏探测器。此外，该系统能够同时进行低压和高压蚀刻，为用户提供对工艺参数的精细控制。Plasmalab 800 Plus的用户友好软件界面具有丰富的功能，如预编程的Timer、配方控制和周期过程控制。这允许蚀刻过程的完全可重复性，允许用户以更高的效率实现一致的结果。此外,OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus还提供了广泛的过程监测,包括每个单独工具的温度和压力读数,以及来自等离子源执行器（PSA）的反馈。此外,Plasmalab 800 Plus还采用了创新的模块化设计,允许进行额外的硬件升级以扩展其功能。最终，OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus提供了一种最先进的蚀刻解决方桉，可以很容易地适应各种研究和生产应用的需要。
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