二手 OXFORD / LANCER 1000 #126491 待售

OXFORD/LANCER 1000是一款先进的蚀刻/asher机器，设计用于精确的等离子体蚀刻和灰化。它利用独特的工艺控制技术在大面积和快速循环时间内实现卓越的蚀刻均匀性,并在小面积内实现精密蚀刻和灰化。这些特性的结合使得OXFORD 1000成为用于光掩模生产、微机械加工和其他精密工艺的理想工具。LANCER 1000有一个三轴臂，用于等离子体源的精确移动。它包括一个高效的供气设备，以尽量减少系统停机时间，一个高分辨率的成像检测器，以确保整个基板的等离子体分布准确，最大工作面积1000 x 1000mm。其强大的控制单元可独立控制蚀刻和灰化过程的功率和压力,并确保对过程的精确控制。OXFORD/LANCER 1000旨在为包括但不限于硅片和MEMS器件在内的多种材料提供严格的过程控制和屈服均匀性。它具有较高的工艺吞吐量,适合生产环境,并且由于其高效的操作,总拥有成本较低。该机器还设计用于与各种室内等离子体源兼容，使其能够支持一系列研究和工业应用。OXFORD 1000随附的强健软体，提供了一种容易使用的图形程式语言，方便精确的刻蚀与ashing过程程式设计。它包括压力、温度和能耗的实时监控等内置安全功能。此外,还可以使用软件扩展套件来扩展该工具,以支持自定义的流程序列或其他高级要求。总体而言,LANCER 1000专为各种蚀刻和灰化应用而设计,能够以高生产率进行精确蚀刻和灰化。适用于多种基材，其易于编程的软件使其成为从事实验或生产应用的科学家、工程师和技术人员的理想选择。