二手 OXFORD MicroEtch 300 #9304128 待售

OXFORD MicroEtch 300是一款高效、用途广泛的蚀刻器/asher，利用先进的真空技术来加工各种尺寸和材料的基板。它被设计用于广泛的应用，从原型开发和生产到高端研究和表征。MicroEtch 300适用于半导体、MEMS、OLED处理。OXFORD MicroEtch 300提供了许多特性和功能,使其成为各种应用程序的强大蚀刻器。设计提供高通量、低温、高均匀性，是高精度处理的理想选择。它还提供了一个易于使用的平台，具有直观的控制界面和可调节的功能，允许用户根据自己的特定需求定制系统。MicroEtch 300利用基材的离子束蚀刻（IBE）和反应性离子蚀刻（RIE）的组合来获得所需的蚀刻轮廓。IBE工艺为形状或图桉处理提供了高的蚀刻速率和均匀性，而RIE用于精确的表面或层去除。OXFORD MicroEtch 300的高效设计使用户能够蚀刻50-200毫米大小的基板.MicroEtch 300利用变频发生器（VFG）在整个蚀刻过程中提供均匀的配电。这样即使在高长宽比蚀刻应用中也能确保稳定可靠的蚀刻。OXFORD MicroEtch 300还具有具有静态和动态压力控制的高真空操作，以及用于高蚀刻速率的氙离子源。此外,MicroEtch 300还提供了全自动循环管理以及保存和召回过程参数以获得可重复结果的能力。它内置的过程监视器,并通过其配方编辑器支持多用途配方,允许用户根据需要调整蚀刻配方,以及跟踪和存储所使用的任何工艺细节或配方。总体而言,OXFORD MicroEtch 300是一款高效且用途广泛的蚀刻器/Asher,可为用户提供可靠而精确的蚀刻解决方桉,适用于各种应用。凭借其先进的真空技术、高度可调的功能、直观的用户界面以及更高的吞吐量能力，MicroEtch 300是那些需要高性能蚀刻系统的人的理想选择。