二手 OXFORD NPT1000 PE #293597503 待售

OXFORD NPT1000 PE
ID: 293597503
Reactive Ion Etcher (RIE) Cluster system.
OXFORD NPT1000 PE是一种先进的、可移动的蚀刻器/aser,设计用于各种基材,包括聚酰亚胺基材,以及用于湿蚀刻或干蚀刻应用。该单元具有坚固的钢结构,为可靠的蚀刻性能提供了稳定、低温的平台。NPT1000 PE具有高达+160°C的温度范围,并具有快速稳定蚀刻温度的高性能加热器。精确温度控制由指示当前温度设置的数字显示器提供,包括一个°C步长的精度设定点。蚀刻过程可以用人性化的控制面板和利用UV-C和UV光源精确测量蚀刻过程的独特光学传感器精度来精确控制。这样可以精确地改变蚀刻时间和温度,从而产生极其可靠的蚀刻结果。工作站还有一个脉冲蚀刻模式,设计用于更高温度(>180 °C)的蚀刻过程。采用脉冲蚀刻模式有助于降低蚀刻温度,提高工艺安全性,提高吞吐量。OXFORD NPT1000 PE非常方便用户,易于安装和维护,具有多语言用户和服务支持。可用于监视设备性能和蚀刻过程的Machine Insight™ (MI)套件提供了对Imaging Device和Machine Insight应用软件的额外支持。MI套件设计用于观察蚀刻过程,并根据计算机的当前状态向用户提供反馈。这套全面的预测软件套件可帮助识别流程问题并尽快采取纠正措施,从而节省时间和资源。NPT1000 PE具有多种集成选项和功能,包括离子提升销机构,该机构可帮助在蚀刻过程中将基板固定到位,防倾斜压板可防止样品错位,以及双气体控制歧管,可同时使用干法和湿法。蚀刻工艺还可以通过可选的工艺自动化软件包(PAP)实现自动化,该软件包为各种蚀刻工艺提供优化的配方。OXFORD NPT1000 PE除了方便用户、便于运输的设计外,还设计用于安全高效的操作。该设备配备了温度过高的保护和工艺安全系统,旨在最大限度地减少环境污染,最大限度地提高操作员的安全。对于聚酰亚胺基材和各种其他基材的快速、高精度蚀刻来说,这种蚀刻器是一种理想的选择。
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