二手 OXFORD Plasmalab 100-ICP 180 #293807546 待售

OXFORD Plasmalab 100-ICP 180是一款由OXFORD Instruments制造的高度先进的蚀刻器/asher。它是为大面积和深度蚀刻高电子迁移率晶体管（HEMTs）、先进的微电子芯片和晶圆级设备集成而设计的。该系统提供对蚀刻和灰度参数的完全控制,如蚀刻时间和大小、方向、功率、压力和气体纯度,并配有直接驱动晶圆处理单元,确保获得最高的精度和效率。OXFORD PLASMALAB 100/ICP 180配备了高效、大功率的感应耦合等离子体（ICP）源，能够产生产生电离粒子的短时间等离子体脉冲。此功能可降低蚀刻速度,通常在蚀刻大面积时会看到这种速度减慢。此外,它还提供了整个晶圆表面的出色的蚀刻均匀性.Plasmalab 100-ICP 180还拥有晶圆级水槽冷却机。这允许快速冷却过程收集蚀刻过程产生的废热，从而保证过程中材料的完整性。此外,它还提供了出色的蚀刻角度和尺寸精度在整个晶圆.在蚀刻气体方面，PLASMALAB 100/ICP 180提供了一系列精确的溷合物，这些溷合物由但不限于氟化氢/二氧化碳溷合物、SF6/SF4溷合物和三氟化硼/氙溷合物组成。这使用户能够实现沿晶片线的高均匀性蚀刻速率,从而提高了特征精度以及更清晰的轮廓边缘。为了提供准确的结果，OXFORD Plasmalab 100-ICP 180配备了先进的压力控制和真空室监测系统。这些系统可以精确控制腔室中的压力，从而确保更高的工艺精度和可重复性。总体而言,OXFORD INSTRUMENTS OXFORD PLASMALAB 100/ICP 180是一种理想的蚀刻器/粉碎器,可保证完美的过程控制和可重复性-使用户能够在执行蚀刻/灰烬应用时实现速度和精度。