二手 OXFORD Plasmalab 100+ ICP 380 #293768915 待售

OXFORD Plasmalab 100+ICP 380是一款行业领先的等离子体蚀刻和灰化设备,其独特设计可提供精确控制、低拥有成本和操作过程中的灵活性。该系统配有380mm腔室尺寸和直径6英寸的工作台,可承受高达40磅的负载。其独特的压力体地球仪设计采用了正在申请专利的谐振器技术，该技术提供均匀的等离子体，具有均匀的功率分配，在蚀刻时能够更清晰的线条和更平滑的轮廓。该机组的射频和直流电源均可调节，使其成为市场上最通用的蚀刻或灰化系统之一。可调节的射频电源允许PE和ICP在高达100瓦的功率下运行,并且可以即时调谐高达40kHz的频率。可调直流电源具有30瓦的连续最大功率和高达555伏的即时控制功能。这使得OXFORD PLASMALAB 100 ICP 380成为单层和多层工艺的绝佳选择。PLASMALAB 100-ICP 380还带有直观的交互式触摸屏,使操作和设置变得轻而易举。这种基于图形的控件使用户能够方便地实时监控和调整蚀刻参数,并密切关注腔室的内部温度,这些温度在腔室视图和热成像特征下很容易看到。用户友好的触摸屏还提供了蚀刻过程的详细摘要,并提供了详细的图形和数据收集功能,以实现精度控制。Plasmalab 100+ICP 380还提供可靠的安全措施来保护用户和设备。标准的安全特性包括压力互锁、腔室真空压力控制和防腐蚀设计。此外，机器的下泵时间由内置的安全逻辑管理，以确保在RF电源启动前腔室得到适当的疏散。总体而言,OXFORD PLASMALAB 100-ICP 380是一个出色的激光蚀刻和灰化平台,可提供出色的控制、低成本和广泛的安全措施。其可调节的电源、直观的触摸屏和动态特性使其成为精密流程和动态应用的绝佳选择。