二手 OXFORD Plasmalab 100 Plus #293637903 待售

OXFORD Plasmalab 100 Plus是一款第二代多频、中等尺寸的感应耦合等离子体（ICP）蚀刻/asher设备。这种ICP 蚀刻器/asher能够对各种材料进行精确蚀刻，包括多晶硅、二氧化硅、氮化硅、光刻胶、金属氧化物和金属氮化物。它采用高压、低功率和快速循环时间等最佳工艺条件进行设计。ICP蚀刻工艺具有很高的可重复性，能够产生高质量的表面。Plasmalab 100 Plus拥有集成的多频发电机，频率在15 MHz至40 MHz之间可调。这提供了在各种介质中蚀刻不同材料时的最大灵活性。随蚀刻器/Asher提供的ICP电源可提供高达50瓦的功率,允许蚀刻比前面提到的典型材料更具抵抗力的材料。此外，该系统采用气体流量控制器，气体流量可调节，允许广泛的蚀刻配方。OXFORD Plasmalab 100 Plus还配备了集成机器人手动舞台，拥有218毫米x 406毫米的大型工作台尺寸。此功能为蚀刻不同形状和尺寸的材料提供了最大的灵活性。集成热成像相机也可与舞台配合使用，以测量蚀刻过程中材料的温度。此外,该单元还附带了一整套软件工具,用于用户定义的流程配方、数据收集和报告。Plasmalab 100 Plus配备了互锁机和自动关闭计时器等多种安全功能，有助于保护操作员免受与蚀刻过程相关的高温、电压和压力的影响。该工具包括接地室、保护面板以及气体和真空安全关闭阀等其他几个安全功能。总体而言,OXFORD Plasmalab 100 Plus 蚀刻器/Asher是一款卓越的设备,具有最大的灵活性和可靠的蚀刻性能。其优越的设计和坚固的元件使其成为先进材料加工、研发的绝佳选择。