二手 OXFORD Plasmalab 100 Plus #293821211 待售

OXFORD Plasmalab 100 Plus是一款高效的蚀刻器/asher，用于电子和微技术领域的多种应用。这是一个先进的设备，能够产生精确，控制和强大的等离子体参数。它具有创新的设计和先进的技术,可用于精确、可重复的过程控制。该系统使用反应性气体和直流电（DC）电源的组合，创造等离子体环境，使蚀刻和灰化过程得以实现，而无需掩蔽或复杂的工艺配方。Plasmalab 100 Plus采用了一系列先进技术，以确保工艺成果的成功。其中包括一个高性能、低温的腔室，它大大降低了能源成本，并提供了一个安全的工作环境。高级流程控制软件允许最终用户定义流程参数，并精确执行用户定义的配方。此外，该装置具有多种疏散和气体输送模式，以适应量身定制的工艺条件，使其适合多种应用。OXFORD Plasmalab 100 Plus被设计为高度自动化的机器，结合了围绕气体输送、腔室疏散和过程调理的多种技术特性。这使得它的操作简单可靠，同时提供完整的过程安全。腔室设有多个端口,可方便手动访问,以便于样品处理和交换,而集成的自动下泵工具和晶圆处理功能进一步使设置和操作自动化。对Plasmalab 100 Plus资产进行了优化,以生产污染程度低的多部件设备。它提供了一致、可重复、可控的晶片对晶片曝光，以及能够实时全面监控和控制等离子体过程的能力。凭借其先进的特点，这种蚀刻器/asher模型适合生产高密度、高度精确的器件，适用于大多数进行高级蚀刻和灰化工艺的实验室。